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  1943年,蘇聯學者拉扎連科夫婦研究發明電火花加工,之后隨著脈沖電源和控制系統的改進,而迅速發展起來。最初使用的脈沖電源是簡單的電阻-電容回路。50年代初,改進為電阻-電感-電容等回路。同時,還采用脈沖發電機之類的所謂長脈沖電源,使蝕除效率提高,工具電極相對損耗降低。隨后又出現了大功率電子管、閘流管等高頻脈沖電源,使在同樣表面粗糙度條件下的生產率得以提高。
  60年代中期,出現了晶體管和可控硅脈沖電源,提高了能源利用效率和降低了工具電極損耗,并擴大了粗精加工的可調范圍。到70年代,出現了高低壓復合脈沖、多回路脈沖、等幅脈沖和可調波形脈沖等電源,在加工表面粗糙度、加工精度和降低工具電極損耗等方面又有了新的進展。在控制系統方面,從最初簡單地保持放電間隙,控制工具電極的進退,逐步發展到利用微型計算機,對電參數和非電參數等各種因素進行適時控制。
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